电子级高纯水 总**碳含量

5．2普通高纯水

5．2．1普通高纯水主要考核其电阻率。

5．2．2普通高纯水的技术指标由表2给出。

表2

指 标 级 标

PH-Ⅰ PH-Ⅱ PH-Ⅲ

电阻率(25℃)，MΩ，cm 12-15 8 lt;12 5 lt;8

大于lμm的微粒数，个／mL <50

总**碳含量，μg／L <500

全硅,μg／L <100

6测试方法和规则

6．1电阻率测试方法

6．1．1用电导率仪测量高纯水电阻率时：

a．电导池常数选川0.1—0.25px-1；

b．被测高纯水应处于密封流动状态，避免任何气体混入，流速不低于0．3m/s。

6．1．2在t℃时测得的电阻率值ρt，用下式换算成25℃的电阻率ρ25

ρ25=1/{αt(1/ρt-Gt)+0.05482}

式中：ρ25——２５℃时的电阻率ＭΩ.ＣＭ

ρt——t℃时的电阻率ＭΩ.ＣＭ

Gt——t℃时理论纯水的电导率μＳ／ＣＭ，其值见附录Ａ；

αt——t℃时修正系数，其值见附录Ａ；

0.05482——t℃时理论纯水的电导率μＳ／ＣＭ。

６.2其他技术指标测量方法

执行ＧＢ１１４４6.5~11446.11中有关规定。